DNA Origami Mask for Sub-Ten-Nanometer Lithography

Cheikh Tidiane Diagne Christophe Brun 1 Didier Gasparutto 2 Xavier Baillin 3 Raluca Tiron 3
1 MINACOM
XLIM - XLIM
2 CREAB - Chimie pour la Reconnaissance et l’Etude d’Assemblages Biologiques
SYMMES - SYstèmes Moléculaires et nanoMatériaux pour l’Energie et la Santé
3 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information
Document type :
Journal articles
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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-02074329
Contributor : Didier Gasparutto <>
Submitted on : Wednesday, March 20, 2019 - 3:38:52 PM
Last modification on : Friday, May 10, 2019 - 2:22:02 PM

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CEA | UNILIM | DRT | LETI | IRIG | CEA-GRE | XLIM

Citation

Cheikh Tidiane Diagne, Christophe Brun, Didier Gasparutto, Xavier Baillin, Raluca Tiron. DNA Origami Mask for Sub-Ten-Nanometer Lithography. ACS Nano, American Chemical Society, 2016, 10 (7), pp.6458-6463. ⟨10.1021/acsnano.6b00413⟩. ⟨cea-02074329⟩

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