Miniature Optical Particle Counter and Analyzer Involving a Fluidic-Optronic CMOS Chip Coupled with a Millimeter-Sized Glass Optical System

Gabriel Jobert (1, 2) , Pierre Barritault (1) , Maryse Fournier (1) , Cyrielle Monpeurt (1) , Salim Boutami (3) , Cécile Jamois (4) , Pietro Bernasconi , Andrea Lovera , Daniele Braga , C. Seassal (4)

1 DOPT - Département d'Optronique
2 INL - I-Lum - INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum)
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 INL - Photonique - INL - Nanophotonique

Mots clés: particulate matter sensor; light-scattering; miniature optics; micro-fabrication

Domaines: Optique / photonique; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Gabriel Jobert, Pierre Barritault, Maryse Fournier, Cyrielle Monpeurt, Salim Boutami, et al.. Miniature Optical Particle Counter and Analyzer Involving a Fluidic-Optronic CMOS Chip Coupled with a Millimeter-Sized Glass Optical System. Sensors, 2021, 21 (9), pp.3181. ⟨10.3390/s21093181⟩. ⟨hal-03431482⟩