Méthodes de caractérisation de la tache focale des générateurs RX de type micro et nano foyer : contribution à l'évolution de la norme EN 12543

Marius Costin (1) , Anthony Touron (2)

1 LIC (CEA, LIST) - Laboratoire Instrumentation et Capteurs (CEA, LIST)
2 LSME (CEA, LIST) - Laboratoire de Simulation et de Modélisation Électromagnétique (CEA, LIST)

Les systèmes de tomographie par rayonnement X sont de plus en plus utilisés pour des applications dans l'aéronautique et dans d'autres domaines industriels qui visent des résolutions d'inspection pouvant atteindre l'échelle nanométrique. Pour garantir la traçabilité et la fiabilité des résultats fournis par la mesure tomographique dans ces domaines de pointe, il est essentiel de qualifier les éléments déterminants du système de mesure, notamment la taille, la forme et la position de la tache focale du tube à rayons X utilisé. Les normes actuelles proposent de telles méthodes de qualification pour les tubes micro-foyer ayant une taille de foyer supérieure à 5 µm mais ne sont pas adaptées aux tailles de foyer plus réduites permises par les nouvelles générations de tubes à rayons X. Le projet NanoXSpot propose des méthodes pour caractériser la tache focale en termes de dimension et de forme, pour des plages d'application plus larges que les normes actuelles. En particulier, le consortium vise à faire évoluer la norme EN 12543 (NDT) pour atteindre des limites d'application inférieures à 5 µm et jusqu'à 100 nm. Dans ce cadre, le CEA List a travaillé sur des études d'optimisation dans la définition d'une nouvelle mire de calibration via le logiciel de simulation CIVA RT/CT et sur le développement d'un outil de mesure automatique des caractéristiques du point focal à partir de l'image d'une mire. Nous présenterons ici le cadre général du projet européen NanoXSpot avant de détailler plus précisément les méthodes retenues et implémentées dans le logiciel d'analyse. Finalement nous présenterons la phase de validation de l'outil sur des données de simulation et des premiers éléments sur la validation expérimentale.

Domaines: Traitement des images [eess.IV]; Optimisation et contrôle [math.OC]

Marius Costin, Anthony Touron. Méthodes de caractérisation de la tache focale des générateurs RX de type micro et nano foyer : contribution à l'évolution de la norme EN 12543. Semaine scientifique COFREND 2022, May 2022, Paris, France. 2022. ⟨cea-04410146⟩