Communication Dans Un Congrès
Année : 2022
Contributeur MAP CEA : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://cea.hal.science/cea-04349990
Soumis le : lundi 18 décembre 2023-11:00:06
Dernière modification le : mercredi 3 avril 2024-11:14:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : cea-04349990 , version 1
Citer
Viorel Balan, Yorrick Exbrayat, Sebastien Mermoz. Die-Scale Nanotopography Characterization: New Insight. International Conference on Planarization Technology (ICPT 2022), Sep 2022, Potsdam, United States. ⟨cea-04349990⟩
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