Lab-scale Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy for the analysis of buried interfaces in device technologies - CEA - Commissariat à l’énergie atomique et aux énergies alternatives Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Lab-scale Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy for the analysis of buried interfaces in device technologies

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Chimie-Physique [physics.chem-ph]
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Avant la publication
dimanche 2 juin 2024

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https://cea.hal.science/cea-04325036

Soumis le : mardi 5 décembre 2023-18:30:07

Dernière modification le : mercredi 3 avril 2024-11:14:12

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dimanche 2 juin 2024
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Dates et versions

cea-04325036 , version 1 (05-12-2023)

Identifiants

  • HAL Id : cea-04325036 , version 1

Citer

Pierre-Marie Deleuze, Eugénie Martinez, Kateryna Artyushkova, Olivier Renault. Lab-scale Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy for the analysis of buried interfaces in device technologies. HAXPES 2022 - The 9th International Conference on Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy, May 2022, Himeji, Japan. ⟨cea-04325036⟩

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