Physical chemistry of the TiN/Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 interface

W. Hamouda (1, 2) , A. Pancotti (2) , C. Lubin (1, 2) , L. Tortech (3, 4) , C. Richter (5) , T. Mikolajick (5) , U. Schroeder (5) , N. Barrett (1, 2)

1 SPEC - UMR3680 - Service de physique de l'état condensé
2 LENSIS - Laboratoire d'Etude des NanoStructures et Imagerie de Surface
3 NIMBE UMR 3685 - Nanosciences et Innovation pour les Matériaux, la Biomédecine et l'Energie (ex SIS2M)
4 LICSEN - Laboratoire Innovation en Chimie des Surfaces et NanoSciences
5 NaMLab gGmbH

Domains: Physics [physics]; Chemical Sciences; Chemical Sciences; Material chemistry

W. Hamouda, A. Pancotti, C. Lubin, L. Tortech, C. Richter, et al.. Physical chemistry of the TiN/Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 interface. Journal of Applied Physics, 2020, 127 (6), pp.064105. ⟨10.1063/1.5128502⟩. ⟨cea-03695415⟩