VLSI silicon multi-gas analyzer coupling gas chromatography and NEMS detectors - CEA - Commissariat à l’énergie atomique et aux énergies alternatives Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

VLSI silicon multi-gas analyzer coupling gas chromatography and NEMS detectors

J Arcamone
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1107913
A Niel
  • Fonction : Auteur
V Gouttenoire
  • Fonction : Auteur
M Petitjean
  • Fonction : Auteur
N David
  • Fonction : Auteur
R Barattin
  • Fonction : Auteur
M Matheron
  • Fonction : Auteur
F Ricoul
  • Fonction : Auteur
T Bordy
  • Fonction : Auteur
H Blanc
  • Fonction : Auteur
J Ruellan
  • Fonction : Auteur
D Mercier
  • Fonction : Auteur
N Pereira-Rodrigues
  • Fonction : Auteur
G Costa
  • Fonction : Auteur
V Agache
  • Fonction : Auteur
S Hentz
  • Fonction : Auteur
F Baleras
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1267955
  • IdRef : 231297440
C Marcoux
  • Fonction : Auteur
T Ernst
  • Fonction : Auteur
L Duraffourg
  • Fonction : Auteur
E Colinet
  • Fonction : Auteur
P Andreucci
  • Fonction : Auteur
E Ollier
  • Fonction : Auteur
P Puget
  • Fonction : Auteur

Résumé

This work demonstrates for the first time a VLSI-compatible nano/microfabricated, high-performance, portable multi-gas analyzer associating gas chromatography and NEMS resonators.
Fichier principal
Vignette du fichier
Niel_et_al_IEDM_2011.pdf (1.25 Mo) Télécharger le fichier
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

cea-03323275 , version 1 (20-08-2021)

Identifiants

  • HAL Id : cea-03323275 , version 1

Citer

J Arcamone, A Niel, V Gouttenoire, M Petitjean, N David, et al.. VLSI silicon multi-gas analyzer coupling gas chromatography and NEMS detectors. IEDM - 2011 IEEE International Electron Devices Meeting, Dec 2011, Washington DC, United States. pp.669-672. ⟨cea-03323275⟩
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