Brevet
Année : 2020
Samuel Tardif : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://cea.hal.science/cea-03096058
Soumis le : lundi 4 janvier 2021-18:58:21
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:18:53
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : cea-03096058 , version 1
Citer
Vincent Reboud, Alban Gassenq, S. Tardif, Vincent Calvo, Alexei Tchelnokov. Semiconductor structure including a suspended membrane containing a central segment of structured thickness. United States, Patent n° : US10666019B2. 2020. ⟨cea-03096058⟩
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