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Journal articles
Ge–Sb–S–Se–Te amorphous chalcogenide thin films towards on-chip nonlinear photonic devices
J.-B. Dory
1
C. Castro-Chavarria
2
A. Verdy
3
J.-B. Jager
4, 5
M. Bernard
6, 7
C. Sabbione
2
M. Tessaire
2
J.-M. Fedeli
1
A. Coillet
8
B. Cluzel
9
P. Noe
5
4
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS
J.-B. Dory 1
Author
C. Castro-Chavarria 2
Author
A. Verdy 3
Author
J.-B. Jager 4, 5
Author Employer institution : Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives IdHAL : jean-baptiste-jager
1
DOPT - Département d'Optronique (France)
- CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information : DRT/LETI (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
2
DTSI - Département des Technologies Silicium (Grenoble - France)
- CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information : DRT/LETI (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
3
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
4
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
- UGA - Université Grenoble Alpes (Adresse CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
5
CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay
Centre de Grenoble
Centre de Cadarache
etc - France)
6
IES - Institut d’Electronique et des Systèmes (860, rue Saint Priest, Bâtiment 5 - CC 05001 -34095 Montpellier Cedex 5 - France)
- UM - Université de Montpellier (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5214 (France)
7
RADIAC - Radiations et composants (France)
- IES - Institut d’Electronique et des Systèmes (860, rue Saint Priest, Bâtiment 5 - CC 05001 -34095 Montpellier Cedex 5 - France)
- UM - Université de Montpellier (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5214 (France)
8
LICB - Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne [Dijon] (Université de Bourgogne - 9 avenue Alain Savary - BP 47870 - 21078 Dijon Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR CNRS 6303 (France)
- UB - Université de Bourgogne (Maison de l'université - Esplanade Érasme - BP 27877 - 21078 Dijon cedex - France)
- UTBM - Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (France)
9
LICB - Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne (Université de Bourgogne - 9 avenue Alain Savary - BP 47870 - 21078 Dijon Cedex - France)
- UB - Université de Bourgogne (Maison de l'université - Esplanade Érasme - BP 27877 - 21078 Dijon cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6303 (France)
Document type :
Journal articles
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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-02903381
Contributor : Jean-Baptiste Jager <>
Submitted on : Tuesday, July 21, 2020 - 9:22:09 AM
Last modification on : Tuesday, November 24, 2020 - 4:00:09 PM
Contributor : Jean-Baptiste Jager <>
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Identifiers
- HAL Id : cea-02903381, version 1
- DOI : 10.1038/s41598-020-67377-9
Collections
Citation
J.-B. Dory, C. Castro-Chavarria, A. Verdy, J.-B. Jager, M. Bernard, et al.. Ge–Sb–S–Se–Te amorphous chalcogenide thin films towards on-chip nonlinear photonic devices. Scientific Reports, Nature Publishing Group, 2020, 10 (1), ⟨10.1038/s41598-020-67377-9⟩. ⟨cea-02903381⟩
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