Loïc Leroy 1, 2
Author
André Roget 1, 2
Author
Emeline Descamps 1, 2
Author Employer institution : Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique IdHAL : emeline-descamps
Aurélie Bouchet 1, 2
Author
Arnaud Buhot 1, 2
Author IdHAL : arnaud-buhot ORCID : https://orcid.org/0000-0001-7643-4305
Pascal Mailley 1, 2
Author
Thierry Livache 1, 2
Author