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Etude des conditions opératoires permettant la mise en oeuvre d'un dépôt de silicium sur poudre dense par CVD en lit fluidisé

F. Vanni 1 Brigitte Caussat 2 C. Ablitzer 1 M. Brothier 1
1 CEA-DES (ex-DEN) - CEA-Direction des Energies (ex-Direction de l'Energie Nucléaire)
2 LGC - Laboratoire de Génie Chimique
Mots-clés : silane silicium lit fluidisé CVD poudre de forte densité
Document type :
Journal articles
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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-02506811
Contributor : Amplexor Amplexor Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Thursday, March 12, 2020 - 3:31:40 PM
Last modification on : Wednesday, October 20, 2021 - 3:24:42 AM
Long-term archiving on: : Saturday, June 13, 2020 - 4:36:21 PM

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201500000273.pdf
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Identifiers

  • HAL Id : cea-02506811, version 1

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CEA | UNIV-TLSE3 | DEN | CNRS | LGC

Citation

F. Vanni, Brigitte Caussat, C. Ablitzer, M. Brothier. Etude des conditions opératoires permettant la mise en oeuvre d'un dépôt de silicium sur poudre dense par CVD en lit fluidisé. Récents Progrès en Génie des Procédés (Cédérom), 2015, 107. ⟨cea-02506811⟩

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