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Etude des conditions opératoires permettant la mise en oeuvre d'un dépôt de silicium sur poudre dense par CVD en lit fluidisé

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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-02506811
Contributor : Amplexor Amplexor <>
Submitted on : Thursday, March 12, 2020 - 3:31:40 PM
Last modification on : Tuesday, April 28, 2020 - 11:28:18 AM
Long-term archiving on: : Saturday, June 13, 2020 - 4:36:21 PM

File

201500000273.pdf
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Identifiers

  • HAL Id : cea-02506811, version 1

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Citation

F. Vanni, B. Caussat, C. Ablitzer, M. Brothier. Etude des conditions opératoires permettant la mise en oeuvre d'un dépôt de silicium sur poudre dense par CVD en lit fluidisé. Récents Progrès en Génie des Procédés (Cédérom), 2015, 107. ⟨cea-02506811⟩

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