Isolation and protection of germaniun for applications in nanoelectronics

Laure Fillaud (1) , Xavier Lefèvre (1) , Bruno Jousselme (1) , Serge Palacin (1) , S. Smaali (2) , Stéphane Lenfant (2) , Dominique Vuillaume (2)

1 LICSEN - Laboratoire Innovation en Chimie des Surfaces et NanoSciences
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Domains: Material chemistry

Laure Fillaud, Xavier Lefèvre, Bruno Jousselme, Serge Palacin, S. Smaali, et al.. Isolation and protection of germaniun for applications in nanoelectronics. ElecNano6, May 2014, Paris, France. ⟨cea-02362645⟩