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Conference papers

Isolation and protection of germaniun for applications in nanoelectronics

Laure Fillaud 1 Xavier Lefèvre 1 Bruno Jousselme 1 Serge Palacin 1 S. Smaali 2 Stéphane Lenfant 2 Dominique Vuillaume 2 
1 LICSEN - Laboratoire Innovation en Chimie des Surfaces et NanoSciences
NIMBE UMR 3685 - Nanosciences et Innovation pour les Matériaux, la Biomédecine et l'Energie (ex SIS2M)
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-02362645
Contributor : Serge Palacin Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Thursday, November 14, 2019 - 8:01:59 AM
Last modification on : Tuesday, July 19, 2022 - 11:47:52 AM

Identifiers

  • HAL Id : cea-02362645, version 1

Collections

CEA | CNRS | UNIV-VALENCIENNES | IEMN | PUBNIMBE | INC-CNRS | IRAMIS-NIMBE | LRN | UNIV-LILLE | IRAMIS

Citation

Laure Fillaud, Xavier Lefèvre, Bruno Jousselme, Serge Palacin, S. Smaali, et al.. Isolation and protection of germaniun for applications in nanoelectronics. ElecNano6, May 2014, Paris, France. ⟨cea-02362645⟩

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