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Conference papers
Isolation and protection of Germaniun for applications in nanoelectronics
Laure Fillaud
1
Xavier Lefèvre
1
Bruno Jousselme
1
Serge Palacin
1
S. Smaali
2
Stéhane Lenfant
2
Dominique Vuillaume
2
1
LICSEN - Laboratoire Innovation en Chimie des Surfaces et NanoSciences
NIMBE UMR 3685 - Nanosciences et Innovation pour les Matériaux, la Biomédecine et l'Energie (ex SIS2M)
Laure Fillaud 1
Speaker
Xavier Lefèvre 1
Author
Bruno Jousselme 1
Author
Serge Palacin 1
Author IdHAL : serge-palacin ORCID : https://orcid.org/0000-0003-0738-8557
1
LICSEN - Laboratoire Innovation en Chimie des Surfaces et NanoSciences (LICSEN, NIMBE, CEA, CNRS, Université Paris-Saclay, CEA Saclay 91190 Gif sur Yvette - France)
- NIMBE UMR 3685 - Nanosciences et Innovation pour les Matériaux, la Biomédecine et l'Energie (ex SIS2M) (NIMBE, CEA, CNRS, Université Paris-Saclay, CEA Saclay 91190 Gif sur Yvette - France)
- IRAMIS - Institut Rayonnement Matière de Saclay : DRF/IRAMIS (91191 Gif-sur-Yvette, France - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/IRAMIS (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- Université Paris-Saclay (Espace Technologique, Bat. Discovery - RD 128 - 2e ét., 91190 Saint-Aubin - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR3685 (France)
- IRAMIS - Institut Rayonnement Matière de Saclay : DRF/IRAMIS (91191 Gif-sur-Yvette, France - France)
2
IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 (Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520 (France)
- Université de Lille (Lille - France)
- UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
- Ecole Centrale de Lille (Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex - France)
- UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
- Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN) (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-02362645
Contributor : Serge Palacin <>
Submitted on : Thursday, November 14, 2019 - 8:01:59 AM
Last modification on : Monday, March 2, 2020 - 1:38:09 PM
Contributor : Serge Palacin <>
Submitted on : Thursday, November 14, 2019 - 8:01:59 AM
Last modification on : Monday, March 2, 2020 - 1:38:09 PM
Identifiers
- HAL Id : cea-02362645, version 1
Collections
CEA | DSM-IRAMIS | CNRS | PUBNIMBE | IRAMIS-NIMBE | UNIV-VALENCIENNES | INC-CNRS | CEA-DRF | UNIV-LILLE
Citation
Laure Fillaud, Xavier Lefèvre, Bruno Jousselme, Serge Palacin, S. Smaali, et al.. Isolation and protection of Germaniun for applications in nanoelectronics. ElecNano6, May 2014, Paris, France. ⟨cea-02362645⟩
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