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Conference papers
Next generation image sensor via direct hybrid bonding
L. Benaissa
1
L. Di Cioccio
1
Y. Beilliard
2
P. Coudrain
3
S. Dominguez
V. Balan
1
T. Enot
1
B. Imbert
1
L. Millet
S. Chevobbe
4
L. Millet
Author
S. Chevobbe 4
Author
1
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
2
LN2 - Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes (Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes (LN2)- CNRS UMI-3463,
Université de Sherbrooke,
3000 Boulevard Université,
J1K OA5, Québec, Canada - Canada)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] : UMI 3463 (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
- ECL - École Centrale de Lyon : UMI-3463 (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon : UMI-3463 (20 Avenue Albert Einstein,
69621 Villeurbanne cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France)
- Université de Sherbrooke [Sherbrooke] (2500 boul. de l'Université, Sherbrooke, Québec J1K 2R1 - Canada)
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMI-3463 (France)
3
STMicroelectronics (France)
4
LIST - Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (DRT/LIST
Nano-INNOV
Avenue de la Vauve
91120 Palaiseau
- France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT/LIST (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- Université Paris-Saclay (Espace Technologique, Bat. Discovery - RD 128 - 2e ét., 91190 Saint-Aubin - France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-02156720
Contributor : Lea Di Cioccio <>
Submitted on : Friday, June 14, 2019 - 4:06:45 PM
Last modification on : Wednesday, November 4, 2020 - 3:23:48 PM
Contributor : Lea Di Cioccio <>
Submitted on : Friday, June 14, 2019 - 4:06:45 PM
Last modification on : Wednesday, November 4, 2020 - 3:23:48 PM
Identifiers
- HAL Id : cea-02156720, version 1
Collections
Citation
L. Benaissa, L. Di Cioccio, Y. Beilliard, P. Coudrain, S. Dominguez, et al.. Next generation image sensor via direct hybrid bonding. 2015 IEEE 17th Electronics Packaging and Technology Conference (EPTC), Dec 2015, Singapore, France. pp.1-3. ⟨cea-02156720⟩
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