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Conference papers
Horizontal Integration and Electrical Characterisation of Si/SiGe Nanowire Tunnel FETs
Virginie Brouzet 1, 2 Bassem Salem 1 Priyanka Periwal 1 Guillaume Rosaz 1 Thierry Baron 1 Franck Bassani 1 P. Gentile 3 Gérard Ghibaudo 2
3
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS
Virginie Brouzet 1, 2
Author
Bassem Salem 1
Author
IdHAL : bassem-salemORCID : 0000-0001-8038-3205IdRef : 092216625
Priyanka Periwal 1
Author
Guillaume Rosaz 1
Author
Thierry Baron 1
Author
IdHAL : thierry-baronORCID : 0000-0001-5005-6596IdRef : 130661813
Franck Bassani 1
Author
ORCID : 0000-0001-8688-1328
P. Gentile 3
Author
IdHAL : pascal-gentileORCID : 0000-0002-1547-4247IdRef : 202987515
Gérard Ghibaudo 2
Author
IdHAL : gerard-ghibaudoORCID : 0000-0001-9901-0679IdRef : 069253099
1
LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique (LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 - France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5129 / EP2073 (France)
2
IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (Site Grenoble : Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1 / Site Chambéry : Université de Savoie - F73376 Le Bourget du Lac Cedex - France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc (27, rue Marcoz - 73000 Chambéry - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5130 (France)
3
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (38058 Grenoble cedex - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-02067074
Contributor : Frédérique Ducroquet Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Thursday, March 14, 2019 - 6:43:57 AM
Last modification on : Wednesday, November 10, 2021 - 2:54:03 PM
Contributor : Frédérique Ducroquet Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Thursday, March 14, 2019 - 6:43:57 AM
Last modification on : Wednesday, November 10, 2021 - 2:54:03 PM
Identifiers
- HAL Id : cea-02067074, version 1
Collections
Citation
Virginie Brouzet, Bassem Salem, Priyanka Periwal, Guillaume Rosaz, Thierry Baron, et al.. Horizontal Integration and Electrical Characterisation of Si/SiGe Nanowire Tunnel FETs. 2014 E-MRS Spring Meeting: Symposium X: Materials Research for Group IV semiconductors: Growth, Characterization & Techno, Developments, G. Kissinger, S. Pizzini, H. Yamada-Kaneta, C. Clayes, D. Yang and G. Wilson, May 2014, Lille, France. ⟨cea-02067074⟩
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