 |
Conference papers
Fabrication and electrical characterisations of Si/Si1-xGex nanowires Tunnel FET device : impact of Germanium concentration
Virginie Brouzet
1
Bassem Salem
1
Priyanka Periwal
1
Thierry Baron
1
Franck Bassani
1
P. Gentile
2
Gérard Ghibaudo
3
2
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS
Virginie Brouzet 1
Author
Bassem Salem 1
Author IdHAL : bassem-salem ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/B-4666-2009 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-8038-3205
Priyanka Periwal 1
Author
Thierry Baron 1
Author IdHAL : thierry-baron IdRef : https://www.idref.fr/130661813 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-5005-6596 VIAF : https://viaf.org/viaf/195129529
Franck Bassani 1
Author
P. Gentile 2
Author IdHAL : pascal-gentile ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1547-4247
Gérard Ghibaudo 3
Author IdHAL : gerard-ghibaudo ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9901-0679
1
LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique (LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5129 (France)
2
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
- UGA - Université Grenoble Alpes (Adresse CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
3
IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (Site Grenoble : Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1 / Site Chambéry : Université de Savoie - F73376 Le Bourget du Lac Cedex - France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc (27, rue Marcoz - 73000 Chambéry - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5130 (France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01998244
Contributor : Pascal Gentile <>
Submitted on : Tuesday, January 29, 2019 - 3:04:32 PM
Last modification on : Monday, December 14, 2020 - 9:50:04 AM
Contributor : Pascal Gentile <>
Submitted on : Tuesday, January 29, 2019 - 3:04:32 PM
Last modification on : Monday, December 14, 2020 - 9:50:04 AM
Identifiers
- HAL Id : cea-01998244, version 1
Collections
Citation
Virginie Brouzet, Bassem Salem, Priyanka Periwal, Thierry Baron, Franck Bassani, et al.. Fabrication and electrical characterisations of Si/Si1-xGex nanowires Tunnel FET device : impact of Germanium concentration. 2015 MRS Spring Meeting & Exhibit: Symposium S: Semiconductor Nanowires and Devices for Advanced Applications, J. Arbiol, K. Dick Thelander, M. Filler, A. Fontcuberta, Q. Xiong, Apr 2015, San Francisco, United States. ⟨cea-01998244⟩
Metrics
Record views