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Journal articles
Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer
M. Zelsmann
1
E. Picard
2
T. Charvolin
3
B. Dal’zotto
M. Nier
C. Seassal
4
P. Rojo-Romeo
5
X. Letartre
4
D. Sotta
6
Emmanuel Hadji
2
N. Magnea
2
E. Delamadeleine
2
P. Besson
P. Renard
7
H. Moriceau
8
2
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS
M. Zelsmann 1
Author IdHAL : marc-zelsmann IdRef : https://www.idref.fr/07808198X ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7619-4871
E. Picard 2
Author IdHAL : emmanuel-picard
T. Charvolin 3
Author
B. Dal’zotto
Author
M. Nier
Author
C. Seassal 4
Author IdHAL : christian-seassal ORCID : https://orcid.org/0000-0002-3856-9089
P. Rojo-Romeo 5
Author
X. Letartre 4
Author IdHAL : letartre-xavier ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3093-4464
D. Sotta 6
Author
Emmanuel Hadji 2
Author IdHAL : emmanuel-hadji
N. Magnea 2
Author
E. Delamadeleine 2
Author
1
LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique (LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5129 / EP2073 (France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
2
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (38058 Grenoble cedex - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
3
INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie (CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, F-38054 Grenoble cedex 9 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/INAC (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] : INAC (38058 Grenoble cedex - France)
4
INL - Photonique - INL - Nanophotonique (France)
- INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France)
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein,
69621 Villeurbanne cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France)
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France)
5
INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures (France)
- INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France)
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein,
69621 Villeurbanne cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France)
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France)
6
SOITEC SA (France)
7
Centre Hospitalier Victor Dupouy (France)
8
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01996938
Contributor : Emmanuel Hadji <>
Submitted on : Monday, January 28, 2019 - 4:17:30 PM
Last modification on : Tuesday, July 27, 2021 - 11:42:05 AM
Contributor : Emmanuel Hadji <>
Submitted on : Monday, January 28, 2019 - 4:17:30 PM
Last modification on : Tuesday, July 27, 2021 - 11:42:05 AM
Identifiers
- HAL Id : cea-01996938, version 1
Collections
Citation
M. Zelsmann, E. Picard, T. Charvolin, B. Dal’zotto, M. Nier, et al.. Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer. Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2002, 92 (4), pp.2207-2209. ⟨cea-01996938⟩
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