Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer
M. Zelsmann
(1)
,
E. Picard
(2)
,
T. Charvolin
(3)
,
B. Dal’zotto
,
M. Nier
,
C. Seassal
(4)
,
P. Rojo-Romeo
(5)
,
X. Letartre
(4)
,
D. Sotta
(6)
,
Emmanuel Hadji
(2)
,
N. Magnea
(2)
,
E. Delamadeleine
(2)
,
P. Besson
,
P. Renard
(7)
,
H. Moriceau
(8)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
3 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie
4 INL - Photonique - INL - Nanophotonique
5 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures
6 SOITEC SA
7 Centre Hospitalier Victor Dupouy
8 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
3 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie
4 INL - Photonique - INL - Nanophotonique
5 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures
6 SOITEC SA
7 Centre Hospitalier Victor Dupouy
8 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
M. Zelsmann
- Function : Author
- PersonId : 740118
- IdHAL : marc-zelsmann
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- IdRef : 07808198X
E. Picard
- Function : Author
- PersonId : 172188
- IdHAL : emmanuel-picard
- IdRef : 079583903
B. Dal’zotto
- Function : Author
M. Nier
- Function : Author
C. Seassal
- Function : Author
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- IdHAL : christian-seassal
- ORCID : 0000-0002-3856-9089
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X. Letartre
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- IdHAL : letartre-xavier
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Emmanuel Hadji
- Function : Author
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- IdHAL : emmanuel-hadji
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P. Besson
- Function : Author