Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer

M. Zelsmann; E. Picard; T. Charvolin; B. Dal’zotto; M. Nier; C. Seassal; P. Rojo-Romeo; X. Letartre; D. Sotta; Emmanuel Hadji; N. Magnea; E. Delamadeleine; P. Besson; P. Renard; H. Moriceau

Home
Submit
Browse
Search
Folder
- Link
- Link
- Link
- Link
- Browse HAL known laboratories

Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer

M. Zelsmann ¹ E. Picard ² T. Charvolin ³ B. Dal’zotto M. Nier C. Seassal ⁴ P. Rojo-Romeo ⁵ X. Letartre ⁴ D. Sotta ⁶ Emmanuel Hadji ² N. Magnea ² E. Delamadeleine ² P. Besson P. Renard ⁷ H. Moriceau ⁸

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures

PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS

3 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie

4 INL - Photonique - INL - Nanophotonique

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

5 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

6 SOITEC SA

7 Centre Hospitalier Victor Dupouy

8 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information

M. Zelsmann ¹ AuthorId : 302378
Author

E. Picard ² AuthorId : 271801

Author IdHAL : emmanuel-picard

T. Charvolin ³ AuthorId : 302380
Author

B. Dal’zotto AuthorId : 11387462
Author

M. Nier AuthorId : 11387467
Author

C. Seassal ⁴ AuthorId : 302381

Author IdHAL : christian-seassal ORCID : https://orcid.org/0000-0002-3856-9089

P. Rojo-Romeo ⁵ AuthorId : 160382
Author

X. Letartre ⁴ AuthorId : 302382

Author IdHAL : letartre-xavier ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3093-4464

D. Sotta ⁶ AuthorId : 302377
Author

Emmanuel Hadji ² AuthorId : 156443

Author IdHAL : emmanuel-hadji

N. Magnea ² AuthorId : 264918
Author

E. Delamadeleine ² AuthorId : 412673
Author

P. Besson AuthorId : 16366
Author

P. Renard ⁷ AuthorId : 78447
Author

H. Moriceau ⁸ AuthorId : 262799
Author

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique (LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 - France) StructId : 616

UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 51016
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) - Grenoble (France) StructId : 301286
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5129 (France) StructId : 441569
UGA - Université Grenoble Alpes (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA 17 rue des Martyrs F-38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40376

PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA 17 rue des Martyrs F-38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 460265
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France) StructId : 555292
  - DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale Fundamental Research Division CEA Saclay 91191 Gif-sur-Yvette - France) StructId : 465913
    - CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

3 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie (CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, F-38054 Grenoble cedex 9 - France) StructId : 53944

CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/INAC (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016
UGA - Université Grenoble Alpes : INAC (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

4 INL - Photonique - INL - Nanophotonique (France) StructId : 527408

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France) StructId : 179701
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France) StructId : 126765
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France) StructId : 441569
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein, 69621 Villeurbanne cedex - France) StructId : 219748
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France) StructId : 210962
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France) StructId : 194495
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088

5 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures (France) StructId : 527404

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France) StructId : 179701
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France) StructId : 126765
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France) StructId : 441569
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein, 69621 Villeurbanne cedex - France) StructId : 219748
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France) StructId : 210962
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France) StructId : 194495
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088

6 SOITEC SA (France) StructId : 323249

7 Centre Hospitalier Victor Dupouy (France) StructId : 340446

8 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40214

DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France) StructId : 440043
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016
UGA - Université Grenoble Alpes (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

Document type :

Journal articles

Domain :

Physics [physics] / Condensed Matter [cond-mat] / Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]

Physics [physics] / Physics [physics] / Optics [physics.optics]

Engineering Sciences [physics] / Electromagnetism

Engineering Sciences [physics] / Materials

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Engineering Sciences [physics] / Electronics

Complete list of metadatas

https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01996938
Contributor : Emmanuel Hadji <>
Submitted on : Monday, January 28, 2019 - 4:17:30 PM
Last modification on : Friday, December 13, 2019 - 8:16:05 AM

Identifiers

HAL Id : cea-01996938, version 1

Collections

Citation

M. Zelsmann, E. Picard, T. Charvolin, B. Dal’zotto, M. Nier, et al.. Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer. Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2002, 92 (4), pp.2207-2209. ⟨cea-01996938⟩

Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer

Identifiers

Collections

Citation

Export

Metrics

75

Contact

Informations

Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer

Identifiers

Collections

Citation

Export

Share

Metrics

75

Contact

Informations