Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer

M. Zelsmann; E. Picard; T. Charvolin; B. Dal’zotto; M. Nier; C. Seassal; P. Rojo-Romeo; X. Letartre; D. Sotta; Emmanuel Hadji; N. Magnea; E. Delamadeleine; P. Besson; P. Renard; H. Moriceau

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Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer

M. Zelsmann ¹ E. Picard ² T. Charvolin ³ B. Dal’zotto M. Nier C. Seassal ⁴ P. Rojo-Romeo ⁵ X. Letartre ⁴ D. Sotta ⁶ Emmanuel Hadji ² N. Magnea ² E. Delamadeleine ² P. Besson P. Renard ⁷ H. Moriceau ⁸

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures

PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/INAC/PHELIQS

3 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie

4 INL - Photonique - INL - Nanophotonique

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

5 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

6 SOITEC SA

7 Centre Hospitalier Victor Dupouy

8 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information

M. Zelsmann ¹ AuthorId : 302378
Author

E. Picard ² AuthorId : 271801

Author IdHAL : emmanuel-picard

T. Charvolin ³ AuthorId : 302380
Author

B. Dal’zotto AuthorId : 11387462
Author

M. Nier AuthorId : 11387467
Author

C. Seassal ⁴ AuthorId : 302381

Author IdHAL : christian-seassal ORCID : https://orcid.org/0000-0002-3856-9089

P. Rojo-Romeo ⁵ AuthorId : 160382
Author

X. Letartre ⁴ AuthorId : 302382

Author IdHAL : letartre-xavier ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3093-4464

D. Sotta ⁶ AuthorId : 302377
Author

Emmanuel Hadji ² AuthorId : 156443

Author IdHAL : emmanuel-hadji

N. Magnea ² AuthorId : 264918
Author

E. Delamadeleine ² AuthorId : 412673
Author

P. Besson AuthorId : 16366
Author

P. Renard ⁷ AuthorId : 78447
Author

H. Moriceau ⁸ AuthorId : 262799
Author

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique (LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 - France) StructId : 616

UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 51016
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) - Grenoble (France) StructId : 301286
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5129 (France) StructId : 441569
UGA - Université Grenoble Alpes (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA/INAC 17 rue des Martyrs F-38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40376

PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/INAC/PHELIQS (CEA 17 rue des Martyrs F-38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 460265
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France) StructId : 555292
  - DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale Fundamental Research Division CEA Saclay 91191 Gif-sur-Yvette - France) StructId : 465913
    - CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

3 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie (CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, F-38054 Grenoble cedex 9 - France) StructId : 53944

CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/INAC (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016
UGA - Université Grenoble Alpes : INAC (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

4 INL - Photonique - INL - Nanophotonique (France) StructId : 527408

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France) StructId : 179701
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France) StructId : 126765
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France) StructId : 441569
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein, 69621 Villeurbanne cedex - France) StructId : 219748
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France) StructId : 210962
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France) StructId : 194495
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088

5 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures (France) StructId : 527404

INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon (France) StructId : 179701
- ECL - École Centrale de Lyon (36 avenue Guy de Collongue - 69134 Ecully cedex - France) StructId : 126765
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270 (France) StructId : 441569
- INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (20 Avenue Albert Einstein, 69621 Villeurbanne cedex - France) StructId : 219748
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- CPE - École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (Domaine Scientifique de la Doua Bâtiment Hubert Curien 43 Boulevard du 11 Novembre 1918 69616 Villeurbanne - France) StructId : 210962
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France) StructId : 194495
  - Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France) StructId : 301088

6 SOITEC SA (France) StructId : 323249

7 Centre Hospitalier Victor Dupouy (France) StructId : 340446

8 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40214

UGA - Université Grenoble Alpes (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543
DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France) StructId : 440043
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

Document type :

Journal articles

Domain :

Physics [physics] / Condensed Matter [cond-mat] / Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]

Physics [physics] / Physics [physics] / Optics [physics.optics]

Engineering Sciences [physics] / Electromagnetism

Engineering Sciences [physics] / Materials

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Engineering Sciences [physics] / Electronics

Complete list of metadatas

https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01996938
Contributor : Emmanuel Hadji <>
Submitted on : Monday, January 28, 2019 - 4:17:30 PM
Last modification on : Wednesday, June 26, 2019 - 3:26:04 PM

Identifiers

HAL Id : cea-01996938, version 1

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M. Zelsmann, E. Picard, T. Charvolin, B. Dal’zotto, M. Nier, et al.. Resonant optical microcavity based on crystalline silicon active layer. Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2002, 92 (4), pp.2207-2209. ⟨cea-01996938⟩

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