Bottom-up Silicon Nanostructures: A Toolbox for Integrated on-Chip Edlcs

Dorian Gaboriau (1, 2) , Mylène Brachet (3) , Maxime Boniface (4) , David Aradilla (5) , Dmitry Aldakov (5) , Gérard Bidan (6) , Jean Le Bideau (3) , Thierry Brousse (3) , P. Gentile (2) , Saïd Sadki (5, 7)

1 LEMOH - Laboratoire d'Electronique Moléculaire Organique et Hybride
2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
3 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
4 MEM - Modélisation et Exploration des Matériaux
5 STEP - Synthèse, Structure et Propriétés de Matériaux Fonctionnels
6 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie
7 UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019]

Domains: Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]; Electric power; Micro and nanotechnologies/Microelectronics; Materials

Dorian Gaboriau, Mylène Brachet, Maxime Boniface, David Aradilla, Dmitry Aldakov, et al.. Bottom-up Silicon Nanostructures: A Toolbox for Integrated on-Chip Edlcs. PRiME 2016/230th ECS Meeting, Oct 2016, honolulu, United States. ⟨cea-01994415⟩