Ordering of Ge quantum dots with buried Si dislocation networks

F. Leroy (1) , J. Eymery (2) , P. Gentile (3) , F. Fournel (4)

1 L’Oréal Recherche & Innovation
2 SP2M - UMR 9002 - Service de Physique des Matériaux et Microstructures
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Energie électrique; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Matériaux

F. Leroy, J. Eymery, P. Gentile, F. Fournel. Ordering of Ge quantum dots with buried Si dislocation networks. Applied Physics Letters, 2002, 80 (17), pp.3078-3080. ⟨cea-01989695⟩