High-Q silica microcavities on a chip: From microtoroid to microsphere

Jean-Baptiste Jager (1, 2, 3, 4) , Vincent Calvo (5, 2, 1, 3, 4) , Eric Delamadeleine (2, 3, 1, 4) , Emmanuel Hadji (1) , Pierre Noé (6) , Thibault Ricart (7) , Davide Bucci (8) , Alain Morand (8)

1 SP2M - UMR 9002 - Service de Physique des Matériaux et Microstructures
2 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
4 PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS
5 GES - Groupe d'étude des semiconducteurs
6 DPFT - Département Plate-Forme Technologique
7 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
8 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Optique / photonique; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Jean-Baptiste Jager, Vincent Calvo, Eric Delamadeleine, Emmanuel Hadji, Pierre Noé, et al.. High-Q silica microcavities on a chip: From microtoroid to microsphere. Applied Physics Letters, 2011, ⟨10.1063/1.3658389⟩. ⟨cea-01989341⟩