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Journal articles
High-Q silica microcavities on a chip: From microtoroid to microsphere
Jean-Baptiste Jager
1, 2, 3, 4
Vincent Calvo
5, 2, 1, 3, 4
Eric Delamadeleine
2, 3, 1, 4
Emmanuel Hadji
1
Pierre Noé
6
Thibault Ricart
7
Davide Bucci
8
Alain Morand
8
3
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS
Jean-Baptiste Jager 1, 2, 3, 4
Author IdHAL : jean-baptiste-jager
Vincent Calvo 5, 2, 1, 3, 4
Author
Eric Delamadeleine 2, 3, 1, 4
Author
Emmanuel Hadji 1
Author IdHAL : emmanuel-hadji
Pierre Noé 6
Author Employer institution : Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Thibault Ricart 7
Author
Davide Bucci 8
Author IdHAL : davide-bucci ORCID : https://orcid.org/0000-0003-0666-8397
Alain Morand 8
Author IdHAL : alain-morand ORCID : https://orcid.org/0000-0003-2888-2861
1
SP2M - UMR 9002 - Service de Physique des Matériaux et Microstructures (SP2M - UMR 9002, Institut Nanosciences et Cryogénie, CEA/Grenoble, 17, Avenue des Martyrs 38042 Grenoble Cedex 9 - France)
- INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie (CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, F-38054 Grenoble cedex 9 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/INAC (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] : INAC (38058 Grenoble cedex - France)
2
INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie (CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, F-38054 Grenoble cedex 9 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/INAC (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] : INAC (38058 Grenoble cedex - France)
3
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (38058 Grenoble cedex - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
4
PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (38058 Grenoble cedex - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
5
GES - Groupe d'étude des semiconducteurs (RPE - N.21 - CC074 Place Eugène Bataillon 34095 MONTPELLIER CEDEX 5 - France)
- UM2 - Université Montpellier 2 - Sciences et Techniques (Place Eugène Bataillon - 34095 Montpellier cedex 5 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5650 (France)
6
DPFT - Département Plate-Forme Technologique (ex DTSI - Département des Technologies Silicium
Grenoble - France)
- CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information : DRT/LETI (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
7
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
8
IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (Site Grenoble : Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1 / Site Chambéry : Université de Savoie - F73376 Le Bourget du Lac Cedex - France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc (27, rue Marcoz - 73000 Chambéry - France)
- INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5130 (France)
Document type :
Journal articles
Complete list of metadata
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01989341
Contributor : Jean-Baptiste Jager Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, January 22, 2019 - 1:28:33 PM
Last modification on : Tuesday, October 19, 2021 - 10:59:18 AM
Contributor : Jean-Baptiste Jager Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, January 22, 2019 - 1:28:33 PM
Last modification on : Tuesday, October 19, 2021 - 10:59:18 AM
Identifiers
- HAL Id : cea-01989341, version 1
- DOI : 10.1063/1.3658389
Collections
Citation
Jean-Baptiste Jager, Vincent Calvo, Eric Delamadeleine, Emmanuel Hadji, Pierre Noé, et al.. High-Q silica microcavities on a chip: From microtoroid to microsphere. Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2011, ⟨10.1063/1.3658389⟩. ⟨cea-01989341⟩
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