High-Q silica microcavities on a chip: From microtoroid to microsphere

Jean-Baptiste Jager; Vincent Calvo; Eric Delamadeleine; Emmanuel Hadji; Pierre Noé; Thibault Ricart; Davide Bucci; Alain Morand

doi:10.1063/1.3658389

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High-Q silica microcavities on a chip: From microtoroid to microsphere

Jean-Baptiste Jager ^{1, 2, 3, 4} Vincent Calvo ^{5, 2, 1, 3, 4} Eric Delamadeleine ^{2, 3, 1, 4} Emmanuel Hadji ¹ Pierre Noé ⁶ Thibault Ricart ⁷ Davide Bucci ⁸ Alain Morand ⁸

1 SP2M - UMR 9002 - Service de Physique des Matériaux et Microstructures

2 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie

3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures

PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS

4 PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS

5 GES - Groupe d'étude des semiconducteurs

6 DTSI - Département des Technologies Silicium

7 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information

8 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Jean-Baptiste Jager ^{1, 2, 3, 4} AuthorId : 445751

Author IdHAL : jean-baptiste-jager

Vincent Calvo ^{5, 2, 1, 3, 4} AuthorId : 156442
Author

Eric Delamadeleine ^{2, 3, 1, 4} AuthorId : 11328789
Author

Emmanuel Hadji ¹ AuthorId : 610428

Author IdHAL : emmanuel-hadji

Pierre Noé ⁶ AuthorId : 11381217
Author Employer institution : Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Thibault Ricart ⁷ AuthorId : 390106
Author

Davide Bucci ⁸ AuthorId : 11353218

Author IdHAL : davide-bucci

Alain Morand ⁸ AuthorId : 1694931

Author Employer institution : Université Grenoble Alpes IdHAL : alain-morand

1 SP2M - UMR 9002 - Service de Physique des Matériaux et Microstructures (SP2M - UMR 9002, Institut Nanosciences et Cryogénie, CEA/Grenoble, 17, Avenue des Martyrs 38042 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 6148

INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie (CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, F-38054 Grenoble cedex 9 - France) StructId : 53944
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/INAC (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016
- UGA - Université Grenoble Alpes : INAC (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

2 INAC - Institut Nanosciences et Cryogénie (CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, F-38054 Grenoble cedex 9 - France) StructId : 53944

CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/INAC (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016
UGA - Université Grenoble Alpes : INAC (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA 17 rue des Martyrs F-38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40376

PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA 17 rue des Martyrs F-38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 460265
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France) StructId : 555292
  - DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale Fundamental Research Division CEA Saclay 91191 Gif-sur-Yvette - France) StructId : 465913
    - CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

4 PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (CEA 17 rue des Martyrs F-38054 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 460265

IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France) StructId : 555292
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale Fundamental Research Division CEA Saclay 91191 Gif-sur-Yvette - France) StructId : 465913
  - CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

5 GES - Groupe d'étude des semiconducteurs (RPE - N.21 - CC074 Place Eugène Bataillon 34095 MONTPELLIER CEDEX 5 - France) StructId : 771

CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5650 (France) StructId : 441569
UM2 - Université Montpellier 2 - Sciences et Techniques (Place Eugène Bataillon - 34095 Montpellier cedex 5 - France) StructId : 92690

6 DTSI - Département des Technologies Silicium (Grenoble - France) StructId : 236727

CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information : DRT/LETI (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40214
- UGA - Université Grenoble Alpes (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France) StructId : 440043
  - CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

7 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 40214

UGA - Université Grenoble Alpes (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543
DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France) StructId : 440043
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016

8 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (Site Grenoble : Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1 / Site Chambéry : Université de Savoie - F73376 Le Bourget du Lac Cedex - France) StructId : 48098

UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France) StructId : 51016
Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France) StructId : 89889
INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France) StructId : 300275
USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc (27, rue Marcoz - 73000 Chambéry - France) StructId : 432896
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5130 (France) StructId : 441569
UGA - Université Grenoble Alpes (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France) StructId : 445543

Document type :

Journal articles

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Complete list of metadatas

https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01989341
Contributor : Jean-Baptiste Jager <>
Submitted on : Tuesday, January 22, 2019 - 1:28:33 PM
Last modification on : Tuesday, November 5, 2019 - 2:32:14 PM

Identifiers

HAL Id : cea-01989341, version 1
DOI : 10.1063/1.3658389

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Citation

Jean-Baptiste Jager, Vincent Calvo, Eric Delamadeleine, Emmanuel Hadji, Pierre Noé, et al.. High-Q silica microcavities on a chip: From microtoroid to microsphere. Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2011, ⟨10.1063/1.3658389⟩. ⟨cea-01989341⟩

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