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Journal articles
Lattice strain and tilt mapping in stressed Ge microstructures using X-ray Laue micro-diffraction and rainbow filtering
Samuel Tardif
1
Alban Gassenq
2
Kevin Guilloy
2
Nicolas Pauc
2
Guilherme Osvaldo Dias
3
Jean-Michel Hartmann
3
Julie Widiez
3
Thomas Zabel
4
Esteban Marin
4
Hans Sigg
4
Jerome Faist
5
Alexei Chelnokov
6
Vincent Reboud
3
Vincent Calvo
2
Jean-Sebastien Micha
7
Odile Robach
1
Francois Rieutord
1
1
NRS - Nanostructures et Rayonnement Synchrotron
MEM - Modélisation et Exploration des Matériaux : DRF/IRIG/MEM
2
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS
7
PCI - Polymères Conducteurs Ioniques
SYMMES - SYstèmes Moléculaires et nanoMatériaux pour l’Energie et la Santé : DRF/INAC/SYMMES
Samuel Tardif 1
Author IdHAL : samuel-tardif
Alban Gassenq 2
Author
Kevin Guilloy 2
Author
Nicolas Pauc 2
Author
Guilherme Osvaldo Dias 3
Author
Jean-Michel Hartmann 3
Author IdHAL : jean-michel-hartmann ORCID : https://orcid.org/0000-0002-9493-1281
Julie Widiez 3
Author
Thomas Zabel 4
Author
Vincent Reboud 3
Author
Vincent Calvo 2
Author
Jean-Sebastien Micha 7
Author IdHAL : jean-sebastien-micha ORCID : https://orcid.org/0000-0002-2027-8283
Odile Robach 1
Author
Francois Rieutord 1
Author IdHAL : francois-rieutord ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4697-3652
1
NRS - Nanostructures et Rayonnement Synchrotron (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- MEM - Modélisation et Exploration des Matériaux : DRF/IRIG/MEM (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
2
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
- UGA - Université Grenoble Alpes (Adresse CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
3
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
4
PSI - Paul Scherrer Institute (Villigen PSI, CH5232 Villigen, Suisse - Switzerland)
5
Institute of Quantum Electronics (Switzerland)
- ETH Zürich - Eidgenössische Technische Hochschule - Swiss Federal Institute of Technology in Zürich [Zürich] (Hauptgebäude, Rämistrasse 101, 8092 Zürich - Switzerland)
6
DOPT - Département d'Optronique (France)
- CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information : DRT/LETI (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
7
PCI - Polymères Conducteurs Ioniques (France)
- SYMMES - SYstèmes Moléculaires et nanoMatériaux pour l’Energie et la Santé : DRF/INAC/SYMMES (17, rue des Martyrs 38054 Grenoble cedex 09 - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DIESE (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR 5819 (France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DIESE (France)
Abstract : Laue micro-diffraction and simultaneous rainbow-filtered micro-diffraction were used to measure accurately the full strain tensor and the lattice orientation distribution at the sub-micrometre scale in highly strained, suspended Ge micro-devices. A numerical approach to obtain the full strain tensor from the deviatoric strain measurement alone is also demonstrated and used for faster full strain mapping. The measurements were performed in a series of micro-devices under either uniaxial or biaxial stress and an excellent agreement with numerical simulations was found. This shows the superior potential of Laue micro-diffraction for the investigation of highly strained micro-devices.
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01851942
Contributor : Jérôme Planès <>
Submitted on : Tuesday, July 31, 2018 - 12:06:04 PM
Last modification on : Tuesday, November 24, 2020 - 4:00:08 PM
Contributor : Jérôme Planès <>
Submitted on : Tuesday, July 31, 2018 - 12:06:04 PM
Last modification on : Tuesday, November 24, 2020 - 4:00:08 PM
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Identifiers
- HAL Id : cea-01851942, version 1
- DOI : 10.1107/s1600576716010347
Citation
Samuel Tardif, Alban Gassenq, Kevin Guilloy, Nicolas Pauc, Guilherme Osvaldo Dias, et al.. Lattice strain and tilt mapping in stressed Ge microstructures using X-ray Laue micro-diffraction and rainbow filtering. Journal of Applied Crystallography, International Union of Crystallography, 2016, 49 (5), pp.1402-1411. ⟨10.1107/s1600576716010347⟩. ⟨cea-01851942⟩
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