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Journal articles
Aperiodic multilayer mirrors for efficient broadband reflection in the extreme ultraviolet
Y. Ménesguen
1
S. Rossi
2
E. Meltchakov
3
F. Delmotte
3
1
LNHB - Laboratoire National Henri Becquerel
DM2I - Département Métrologie Instrumentation & Information : DRT/LIST/DM2I
2
Management, entrepreneuriat, innovation
CERAG - Centre d'études et de recherches appliquées à la gestion
Y. Ménesguen 1
Author
S. Rossi 2
Author
E. Meltchakov 3
Author IdHAL : evgueni-meltchakov ORCID : https://orcid.org/0000-0002-3344-5124
F. Delmotte 3
Author
1
LNHB - Laboratoire National Henri Becquerel (CEA LIST F-91191 Gif-sur-Yvette Cedex - France)
- DM2I - Département Métrologie Instrumentation & Information : DRT/LIST/DM2I (ex DCSI.
CEA LIST - France)
- LIST - Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies : DRT/LIST (DRT/LIST
Nano-INNOV
Avenue de la Vauve
91120 Palaiseau
- France)
- Université Paris-Saclay (Espace Technologique, Bat. Discovery - RD 128 - 2e ét., 91190 Saint-Aubin - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT/LIST (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- LIST - Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies : DRT/LIST (DRT/LIST
Nano-INNOV
Avenue de la Vauve
91120 Palaiseau
- France)
2
Management, entrepreneuriat, innovation (France)
- CERAG - Centre d'études et de recherches appliquées à la gestion (150, rue de la chimie - Domaine universitaire - 38400 Saint Martin d’Hères - France)
- UPMF - Université Pierre Mendès France - Grenoble 2 : EA7521 (BP 47 - 38040 Grenoble Cedex 9 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5820 (France)
3
Laboratoire Charles Fabry / Optique XUV (France)
- LCF - Laboratoire Charles Fabry (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8501 (France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01833254
Contributor : Yves Ménesguen <>
Submitted on : Monday, July 9, 2018 - 2:56:31 PM
Last modification on : Friday, November 6, 2020 - 4:42:51 AM
Contributor : Yves Ménesguen <>
Submitted on : Monday, July 9, 2018 - 2:56:31 PM
Last modification on : Friday, November 6, 2020 - 4:42:51 AM
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Identifiers
- HAL Id : cea-01833254, version 1
- DOI : 10.1007/s00339-009-5400-2
Citation
Y. Ménesguen, S. Rossi, E. Meltchakov, F. Delmotte. Aperiodic multilayer mirrors for efficient broadband reflection in the extreme ultraviolet. Applied physics. A, Materials science & processing, Springer Verlag, 2010, 98 (2), pp.305 - 309. ⟨10.1007/s00339-009-5400-2⟩. ⟨cea-01833254⟩
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