B. E. Fischer, M. Cholewa, and H. Noguchi, Nucl. Instrum. Methods. Phys. Res. B, vol.181, p.60, 2001.

T. Kamiya, M. Cholewa, A. Saint, S. Prawer, G. J. Legge et al., Appl. Phys. Lett, vol.71, p.1875, 1997.

R. W. Smith, M. Karlu, and M. Jak, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, vol.277, p.140, 2012.

M. Folkard, B. Vojnovic, G. Schettino, M. Forsberg, G. Bowey et al., Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, vol.130, p.270, 1997.

. Ph, C. Moretto, A. Michelet, . Balana, . Ph et al.,

. Lhoste, Nucl. Instrum. Methods. Phys. Res. B, vol.181, p.104, 2001.

M. Pomorski, B. Caylar, and P. Bergonzo, Appl. Phys. Lett, vol.103, p.112106, 2013.

M. Jak-si?, I. Bogdanovic-radovic, M. Bogovac, V. Desnica, S. Fazinic et al., Nucl. Instrum Methods Phys. Res. B, vol.260, p.114, 2007.

M. Bogovac, I. Bogdanovi?, S. Fazini?, M. Jak-si?, L. Kukec et al., Nucl. Instrum Methods. Phys. Res. B, vol.89, p.219, 1994.

J. F. Ziegler, J. B. Biersack, and U. Littmark, SRIM-The Stopping and Range of Ions in Solids, 1985.

V. Grilj, N. Skukan, M. Jak-si?, W. Kada, and T. Kamiya, Nucl. Instrum. Methods. Phys. Res. B, vol.306, p.191, 2013.

, Nucl. Instrum. Methods. Phys. Res. A, vol.426, p.173, 1999.

S. R. Messenger, E. A. Burke, G. P. Summers, M. A. Xapsos, R. J. Walters et al., IEEE Trans. Nucl. Sci, vol.46, p.1595, 1999.

F. W. Sexton, K. M. Horn, B. L. Doyle, M. R. Shaneyfelt, and T. L. Meisenheimer, IEEE Trans. Nucl. Sci, vol.42, p.1940, 1995.

M. Guthoff, K. Afanaciev, A. Dabrowski, W. Boer, W. Lange et al., Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, vol.730, pp.168-173, 2013.