Study of the formation and degradation of intermetallics formed by solid-state reaction of Ni on InGaAs

Seifeddine Zhiou; Thanh-Tra Nguyen; Philippe Rodriguez; Fabrice Nemouchi; Patrice Gergaud

Study of the formation and degradation of intermetallics formed by solid-state reaction of Ni on InGaAs

Seifeddine Zhiou ¹ Thanh-Tra Nguyen ² Philippe Rodriguez ¹ Fabrice Nemouchi ¹ Patrice Gergaud ¹

1 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information

2 CRG - CRG et Grands Instruments

NEEL - Institut Néel

Type de document :

Communication dans un congrès

Materials for Advanced Metallization Conference (MAM 2016), Mar 2016, Bruxelles, Belgium. 2016

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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Littérature citée [9 références] Voir Masquer Télécharger

https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01615684
Contributeur : Philippe Rodriguez <>
Soumis le : jeudi 12 octobre 2017 - 16:33:45
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 14:05:34

Zhiou2016d.pdf

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