Étude de la texture cristallographique de composés intermétalliques obtenus par réaction à l’état solide entre un film mince de Ni et un substrat InGaAs/Si

Seifeddine Zhiou (1) , Thanh Tra Nguyen (2) , Philippe Rodriguez (1) , Fabrice Nemouchi (1) , Patrice Gergaud (1)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 NEEL - CRG - CRG & Grands instruments

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Seifeddine Zhiou, Thanh Tra Nguyen, Philippe Rodriguez, Fabrice Nemouchi, Patrice Gergaud. Étude de la texture cristallographique de composés intermétalliques obtenus par réaction à l’état solide entre un film mince de Ni et un substrat InGaAs/Si. XIe colloque Rayons X et Matière (RX2015), Dec 2015, Grenoble, France. ⟨cea-01615674⟩