Étude de la texture cristallographique de composés intermétalliques obtenus par réaction à l’état solide entre un film mince de Ni et un substrat InGaAs/Si

Seifeddine Zhiou; Thanh-Tra Nguyen; Philippe Rodriguez; Fabrice Nemouchi; Patrice Gergaud

Étude de la texture cristallographique de composés intermétalliques obtenus par réaction à l’état solide entre un film mince de Ni et un substrat InGaAs/Si

Seifeddine Zhiou ¹ Thanh-Tra Nguyen ² Philippe Rodriguez ¹ Fabrice Nemouchi ¹ Patrice Gergaud ¹

1 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information

2 CRG - CRG et Grands Instruments

NEEL - Institut Néel

Document type :

Conference papers

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

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Cited literature [7 references] Display Hide Download

https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01615674
Contributor : Philippe Rodriguez <>
Submitted on : Thursday, October 12, 2017 - 4:26:36 PM
Last modification on : Monday, February 25, 2019 - 4:34:20 PM

Zhiou2015a.pdf

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