Étude de la texture cristallographique de composés intermétalliques obtenus par réaction à l’état solide entre un film mince de Ni et un substrat InGaAs/Si

Seifeddine Zhiou; Thanh Tra Nguyen; Philippe Rodriguez; Fabrice Nemouchi; Patrice Gergaud

Conference papers

Étude de la texture cristallographique de composés intermétalliques obtenus par réaction à l’état solide entre un film mince de Ni et un substrat InGaAs/Si

Seifeddine Zhiou ¹ Thanh Tra Nguyen ² Philippe Rodriguez ¹ Fabrice Nemouchi ¹ Patrice Gergaud ¹

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

2 CRG - CRG et Grands Instruments

NEEL - Institut Néel

Document type :

Conference papers

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01615674
Contributor : Philippe Rodriguez <>
Submitted on : Thursday, October 12, 2017 - 4:26:36 PM
Last modification on : Friday, December 18, 2020 - 1:12:03 PM

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