InGaAs Surface Pretreatment prior to Metal Solid-State Reactions for Low Resistance Contacts

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Communication dans un congrès
15th International Workshop on Junction Technology (IWJT), Jun 2015, Kyoto, Japan. pp.54 - 57, 2016, 〈10.1109/IWJT.2015.7467095〉
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Contributeur : Philippe Rodriguez <>
Soumis le : jeudi 12 octobre 2017 - 15:48:26
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 14:05:00

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Philippe Rodriguez, L. Toselli, E. Ghegin, N. Rochat, N. Chevalier, et al.. InGaAs Surface Pretreatment prior to Metal Solid-State Reactions for Low Resistance Contacts. 15th International Workshop on Junction Technology (IWJT), Jun 2015, Kyoto, Japan. pp.54 - 57, 2016, 〈10.1109/IWJT.2015.7467095〉. 〈cea-01615579〉

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