Laboratory based X-ray photoemission core-level spectromicroscopy of resistive oxide memories

Daniel M. Gottlob 1, * Eugénie Martinez 2 Claire Mathieu 1 Christophe Lubin 1 Nicolas Chevalier 2 Munique Kazar Mendes 2 Christelle Charpin 2 Eric Jalaguier 2 Olivier Renault 2 Nick Barrett 1
* Auteur correspondant
1 LENSIS - Laboratoire d'Etude des NanoStructures et Imagerie de Surface
SPEC - UMR3680 - Service de physique de l'état condensé, IRAMIS - Institut Rayonnement Matière de Saclay
2 CEA-LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information
Abstract : HfO$_2$-based resistive oxide memories are studied by core-level spectromicroscopy using a laboratory-based X-ray photoelectron emission microscope (XPEEM). After forming, the top electrode is thinned to about 1 nm for the XPEEM analysis, making the buried electrode/HfO$_2$ interface accessible whilst preserving it from contamination. The results are obtained in the true photoemission channel mode from individual memory cells (5 × 5 μm) excited by low-flux laboratory X-rays, in contrast to most studies employing the X-ray absorption channel using potentially harmful bright synchrotron X-rays. Analysis of the local Hf 4f, O 1s and Ti 2p core level spectra yields valuable information on the chemistry of the forming process in a single device, and in particular the central role of oxygen vacancies thanks to the spectromicroscopic approach.
Keywords : Resistive switching HfO 2 PEEM
Type de document :
Article dans une revue
Ultramicroscopy, Elsevier, 2017, 4, pp.1 - 5. 〈10.1016/j.ultramic.2017.03.026〉
Liste complète des métadonnées

Littérature citée [17 références]  Voir  Masquer  Télécharger
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01591611
Contributeur : Dominique Girard <>
Soumis le : jeudi 21 septembre 2017 - 15:59:44
Dernière modification le : jeudi 15 mars 2018 - 15:05:30

Fichier

1-s2.0-S0304399116303576-main....
Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte

Identifiants

Collections

CEA | DSM-IRAMIS | IRAMIS-SPEC | DRT | UNIV-PARIS-SACLAY | CEA-DRF | LETI | CEA-UPSAY

Citation

Daniel M. Gottlob, Eugénie Martinez, Claire Mathieu, Christophe Lubin, Nicolas Chevalier, et al.. Laboratory based X-ray photoemission core-level spectromicroscopy of resistive oxide memories. Ultramicroscopy, Elsevier, 2017, 4, pp.1 - 5. 〈10.1016/j.ultramic.2017.03.026〉. 〈cea-01591611〉

Exporter

BibTeX TEI DC DCterms EndNote

Partager

Métriques

Consultations de la notice

140

Téléchargements de fichiers

56

Contact

support.ccsd.cnrs.fr
hal.support@ccsd.cnrs.fr
Logo CCSD