REALISATION DUN COMPOSANT ELECTROMECANIQUE POUR UN MICRO- OU NANO- SYSTEME DOTE DUN BARREAU FORMANT UN AXE DE ROTATION DU COMPOSANT ET RECOUVERT DE GRAPHENE

Abstract : Procédé de réalisation d'un micro-système électromécanique doté d'au moins un organe fixe comprenant un barreau, et d'au moins un organe mobile en rotation autour d'au moins une portion dudit barreau, le procédé comprenant des étapes de : a) formation dans une couche d'au moins matériau donné reposant sur un support, d'au moins un barreau, b) formation autour du barreau d'au moins un premier feuillet de graphène, et d'au moins un deuxième feuillet de graphène, séparé du premier feuillet et mobile par rapport au premier feuillet.
Type de document :
Brevet
France, Patent n° : 2950332 2011
Liste complète des métadonnées

https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01550194
Contributeur : Jean Christophe Gabriel <>
Soumis le : jeudi 29 juin 2017 - 14:14:42
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 14:05:00

Identifiants

  • HAL Id : cea-01550194, version 1

Collections

CEA | DRT | LETI

Citation

Thierry Poiroux, Ernst Thomas, Philippe Andreucci, Jean-Christophe Gabriel. REALISATION DUN COMPOSANT ELECTROMECANIQUE POUR UN MICRO- OU NANO- SYSTEME DOTE DUN BARREAU FORMANT UN AXE DE ROTATION DU COMPOSANT ET RECOUVERT DE GRAPHENE. France, Patent n° : 2950332 2011. 〈cea-01550194〉

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