REALISATION DUN COMPOSANT ELECTROMECANIQUE POUR UN MICRO- OU NANO- SYSTEME DOTE DUN BARREAU FORMANT UN AXE DE ROTATION DU COMPOSANT ET RECOUVERT DE GRAPHENE

Thierry Poiroux (1) , Ernst Thomas (1) , Philippe Andreucci (1) , Jean Christophe Gabriel (1)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Procédé de réalisation d'un micro-système électromécanique doté d'au moins un organe fixe comprenant un barreau, et d'au moins un organe mobile en rotation autour d'au moins une portion dudit barreau, le procédé comprenant des étapes de : a) formation dans une couche d'au moins matériau donné reposant sur un support, d'au moins un barreau, b) formation autour du barreau d'au moins un premier feuillet de graphène, et d'au moins un deuxième feuillet de graphène, séparé du premier feuillet et mobile par rapport au premier feuillet.

Keywords: Graphene; MEMS - Micro Electro Mechanical System; NEMS

Domains: Chemical Sciences; Engineering Sciences [physics]

Thierry Poiroux, Ernst Thomas, Philippe Andreucci, Jean Christophe Gabriel. REALISATION DUN COMPOSANT ELECTROMECANIQUE POUR UN MICRO- OU NANO- SYSTEME DOTE DUN BARREAU FORMANT UN AXE DE ROTATION DU COMPOSANT ET RECOUVERT DE GRAPHENE. France, Patent n° : 2950332 2011. ⟨cea-01550194⟩