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Journal articles
Properties of Ultra-Thin NbN Films for Membrane-Type THz HEB
Bruno Guillet
1
Ö. Arthursson
2
Laurence Méchin
1
M.-N. Metzner
3
Marie-Pierre Chauvat
3
Pierre Ruterana
3
V. Drakinskiy
2
S. Cherednichenko
2
R. Lefèvre
4
Y. Delorme
4
J.-M. Krieg
4
1
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072
GREYC - Groupe de Recherche en Informatique, Image, Automatique et Instrumentation de Caen
Bruno Guillet 1
Author
Ö. Arthursson 2
Author
Laurence Méchin 1
Author IdHAL : laurence-mechin ORCID : https://orcid.org/0000-0002-6350-1801
M.-N. Metzner 3
Author
Marie-Pierre Chauvat 3
Author IdHAL : idhal-mpc
Pierre Ruterana 3
Author
V. Drakinskiy 2
Author
S. Cherednichenko 2
Author
1
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072 (France)
- GREYC - Groupe de Recherche en Informatique, Image, Automatique et Instrumentation de Caen (Boulevard du Maréchal Juin - 14050 CAEN Cedex - France)
- UNICAEN - Université de Caen Normandie (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 CAEN Cedex 5 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
- ENSICAEN - École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (6, Boulevard du Maréchal Juin CS 45053 14050 CAEN cedex 04 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6072 (France)
- UNICAEN - Université de Caen Normandie (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 CAEN Cedex 5 - France)
2
MC2 - Microtechnology and nanoscience (412 96 Göteborg, Sweden - Sweden)
- Chalmers University of Technology [Göteborg] (SE-412 96 Göteborg - Sweden)
3
CIMAP - UMR 6252 - Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique (CIMAP - UMR 6252, 6, Boulevard du Maréchal Juin 14050 Caen cedex 4 - France)
- UNICAEN - Université de Caen Normandie (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 CAEN Cedex 5 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
- ENSICAEN - École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (6, Boulevard du Maréchal Juin CS 45053 14050 CAEN cedex 04 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/IRAMIS (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR 6252 (France)
4
LERMA - Laboratoire d'Etude du Rayonnement et de la Matière en Astrophysique (61, avenue de l'Observatoire - 75014 PARIS - France)
- ENS Paris - École normale supérieure - Paris (45, Rue d'Ulm - 75230 Paris cedex 05 - France)
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- INSU - CNRS - Institut national des sciences de l'Univers (INSU-CNRS 3 rue Michel-Ange, 75794 Paris Cedex 16 - France)
- Observatoire de Paris (61 Av de l'Observatoire 75014 PARIS - France)
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France)
- UCP - Université de Cergy Pontoise : UMR8112 (33 Boulevard du Port, 95011 Cergy-Pontoise Cedex - France)
- Université Paris-Seine (3 avenue Bernard Hirsch, CS 50105, 95021 Cergy-Pontoise - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8112 (France)
Abstract : Various buffer layers have been investigated in order to improve the crystalline quality of NbN ultra-thin films. The structural properties, the thickness, the surface morphology of 5-10 nm NbN films have been studied by different techniques. Uncertainty on thickness measurements in this range and the relation between NbN film quality and gain bandwidth are discussed in the framework of their use in Hot Electron Bolometers (HEB).
Keywords :
NbN ultra-thin films
Mixer devices
Document type :
Journal articles
Complete list of metadatas
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-00372235
Contributor : Chantal Brassy <>
Submitted on : Tuesday, March 31, 2009 - 4:18:33 PM
Last modification on : Tuesday, September 22, 2020 - 3:58:11 AM
Contributor : Chantal Brassy <>
Submitted on : Tuesday, March 31, 2009 - 4:18:33 PM
Last modification on : Tuesday, September 22, 2020 - 3:58:11 AM
Identifiers
- HAL Id : cea-00372235, version 1
Collections
OBSPM | INSU | CNRS | UNIV-CERGY | LERMA | UPMC | GREYC-ELECTRONIQUE | GREYC | DSM-IRAMIS | CEA | ENS-PARIS | COMUE-NORMANDIE | IRAMIS-CIMAP | CEA-DRF | ENSICAEN | UNICAEN | SORBONNE-UNIVERSITE | SU-SCIENCES | PSL
Citation
Bruno Guillet, Ö. Arthursson, Laurence Méchin, M.-N. Metzner, Marie-Pierre Chauvat, et al.. Properties of Ultra-Thin NbN Films for Membrane-Type THz HEB. J Low Temp Phys, 2008, 151, pp.570-574. ⟨cea-00372235⟩
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